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一种碳化硅晶体取下装置

摘要

本发明提供一种碳化硅晶体取下装置,涉及碳化硅生产领域。该装置包括两个支撑盘和三个连接杆,三个连接杆位于两个支撑盘之间,三个连接杆的上下两端分别与两个支撑盘互相靠近的一面固定连接,三个连接杆的下端均安装有装夹机构,三个连接杆上端之间设置有挤压机构,挤压机构通过三个横板A与三个连接杆固定连接。该碳化硅晶体取下装置设置装夹机构、挤压机构和敲击机构,通过调节装夹机构,可以将坩埚或籽晶托架固定住,通过控制电机旋转,带动带轮旋转,两个楔形板可以重叠,楔形板逐渐挤压受力板,压盘对晶体产生缓慢且均匀的压力,可使晶体完整脱落,解决了现有技术用直接顶出方式使晶体脱落不均匀导致破裂的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN112226814A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202011461283.1

  • 发明设计人 邹小燕;李兴霞;姚文;申兴;

    申请日2020-12-14

  • 分类号C30B23/00(20060101);C30B29/36(20060101);

  • 代理机构11640 北京中索知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈宾宾

  • 地址 264006 山东省烟台市开发区珠江路92号

  • 入库时间 2023-06-19 09:35:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-03-10

    专利权的转移 IPC(主分类):C30B23/00 专利号:ZL2020114612831 登记生效日:20230227 变更事项:专利权人 变更前权利人:嘉兴传盛机械设备有限公司 变更后权利人:宁波合盛新材料有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:314000 浙江省嘉兴市桐乡市梧桐街道振兴东路丰润国际商务中心635室-1098 变更后权利人:315000 浙江省宁波市慈溪市周巷镇周西公路1999-9号

    专利申请权、专利权的转移

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