一种单晶炉用的热场及其单晶炉

摘要

本发明公开了一种单晶炉用的热场及其单晶炉，包括下托盘、上盖盘、坩埚、加热器和导流筒，导流筒的出气端朝向坩埚；热场还包括保温筒，保温筒套设在加热器外，保温筒的下端固定在下托盘，上端固定在上盖盘；保温筒的筒壁内设有多个第一排气管，保温筒内壁开设有进气口，进气口与第一排气管的上端一一对应连通；所述下托盘下方设有支撑环，支撑环下方设有支撑板，支撑板上设有通孔，第一排气管的出气端依次通过通孔、第二排气管连接真空泵进气口；第二排气管上设有电磁阀，热场还包括控制单元，控制单元控制电磁阀打开或关闭，还控制电磁阀的开启大小。能够使热场气流运行顺畅无气旋滞留，消除了各种反应物在炉室内的沉积。