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用于制造基片上的层系统的方法及层系统

摘要

本发明涉及制造在介电基片(12)上的层系统的方法,其中用涂镀步骤(110)将金属层(14)施加于基片(12)上,并随后用另一涂镀步骤(140)将另一层(24)以预定的厚度施加于基片上,其中所述金属层(14)具有>10MOhm的方块电阻以及>50%的平均反射率,当另一层(24)用另一涂镀步骤(140)以同样的层厚度施加于基片(12)上时,其具有<1MOhm的方块电阻,并且由金属层(14)和另一层(24)组成的层系统(10)具有>10MOhm的方块电阻。此外,本发明涉及介电基片(12)上的层系统,其中用涂镀步骤(110)将金属层(14)施加于基片(12)上,并随后用另一涂镀步骤(140)将另一层(24)以预定的厚度施加于基片上,其中所述金属层(14)具有>10MOhm的方块电阻以及>50%的平均反射率,当另一层(24)用另一涂镀步骤(140)以同样的层厚度施加于基片(12)上时,其具有<1MOhm的方块电阻,并且由金属层(14)和另一层(24)组成的层系统(10)具有>10MOhm的方块电阻。外壳可配备有根据本发明的层系统。

著录项

  • 公开/公告号CN102165088A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-08-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 莱博德光学有限责任公司;

    申请/专利号CN200980137482.2

  • 发明设计人 J·皮斯特纳;T·施莫德;S·库珀;

    申请日2009-07-23

  • 分类号C23C14/06;C23C14/02;B05D5/06;C23C14/04;

  • 代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;

  • 代理人郭广迅

  • 地址 德国阿尔策瑙

  • 入库时间 2023-12-18 03:04:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-09

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/06 申请公布日:20110824 申请日:20090723

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2011-10-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20090723

    实质审查的生效

  • 2011-08-24

    公开

    公开

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