公开/公告号CN102165088A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 莱博德光学有限责任公司;
申请/专利号CN200980137482.2
申请日2009-07-23
分类号C23C14/06;C23C14/02;B05D5/06;C23C14/04;
代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人郭广迅
地址 德国阿尔策瑙
入库时间 2023-12-18 03:04:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-09
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/06 申请公布日:20110824 申请日:20090723
发明专利申请公布后的驳回
2011-10-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20090723
实质审查的生效
2011-08-24
公开
公开
机译: 使用的SAW组件例如用于移动无线电话系统的滤波器或双工器的系统包括压电基片,布置在基片上并具有金属化层的转换电极和薄补偿层
机译: 用于制造例如机电的微机电系统结构的方法。加速度传感器涉及沉积氧化物层作为牺牲层,从而通过将离子撞击在氧化物层上而在氧化物层中形成多孔区域
机译: 用于集成微机械系统的微机械结构的制造方法,其使用沉积在具有具有不同特性的边缘层的牺牲层上的功能层