公开/公告号CN111373233A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-03
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201880074037.5
申请日2018-10-26
分类号G01L19/06(20060101);G01L19/00(20060101);B81B7/00(20060101);G01L9/00(20060101);G01L19/14(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人侯鸣慧
地址 德国斯图加特
入库时间 2023-12-17 10:33:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
公开
公开
机译: 微机械压力传感器装置,包括在微机械功能层中并排形成的,与压力传感器和另一个传感器相对应的第一和第二微机械功能区域,以及相应的制造方法
机译: 微机械压力传感器装置和用于制造微机械压力传感器装置的相应方法
机译: 微机械压力传感器装置的制造方法和相应的微机械压力传感器装置