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传感器的制造方法

摘要

本发明公开一种传感器的制造方法,包括:提供包括多个第一板单元的第一PCB板、包括多个围板单元的第二PCB板、及包括多个第二板单元的第三PCB板,第一板单元和第二板单元其中之一为顶板单元,另一为底板单元;将第二PCB板安装于第一PCB板,以形成第一集合体;且每一围板单元均对应连接一第一板单元,以在第一集合体上形成多个中间过渡体单元;从第一集合体上分离出多个中间过渡体;将中间过渡体安装到第三PCB板上以形成第二集合体;且每一第二板单元均对应安装有一个中间过渡体,以在第二集合体上形成多个传感器单元;从第二集合体上分离出传感器单元以获得多个传感器。如此,可实现采用三层PCB板作为封装壳的MEMS传感器的批量生产。

著录项

  • 公开/公告号CN111422825A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-07-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司;

    申请/专利号CN202010527068.0

  • 发明设计人 党茂强;解士翔;

    申请日2020-06-11

  • 分类号B81C1/00(20060101);B81B7/00(20060101);B81B7/02(20060101);

  • 代理机构44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所;

  • 代理人关向兰

  • 地址 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼

  • 入库时间 2023-12-17 10:29:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20200611

    实质审查的生效

  • 2020-07-17

    公开

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