微纳米结构组件制造方法、以及以该法制造的微纳米结构组件

摘要

制造微纳米结构组件的方法，包括：提供滤膜；提供MEMS传感器，MEMS传感器上具有开口且能够经该开口进行感测；将滤膜结合到MEMS传感器上，使得滤膜覆盖开口。提供滤膜包括：将覆有光刻胶层(106)的基板(108)加热以软化光刻胶层(106)；用模具对基板(108)加压，模具由叠合的图案层(104)和背层(102)组成，背层(102)受到加压以使得图案层(104)接触光刻胶层(106)；在持续用模具对光刻胶层(106)加压的同时冷却光刻胶层(106)以使其固化，从而在光刻胶层(106)上形成与图案层(104)相符的图案；移除模具；通过干蚀刻移除在图案上残留的光刻胶；在光刻胶层(106)上沉积滤膜材料(107)；从基板(108)剥离光刻胶层(106)。