Macro-Micro Driving Control System for Optical Inspection Platform

摘要

目前微机构器件和微小器件加工和检测技术的不断发展，对加工和检测所使用的运动平台和控制系统提出了更高要求。以微纳米检测系统来说，检测结果的最终精度不仅取决于所使用的检测分析技术，同时也取决于运动平台的结构和控制系统的精度。 本文“光学检测平台的宏微驱动控制系统研究”，开发了由基于压电陶瓷的微位移调焦系统和基于直线电机的宏动定位系统相结合的光学检测平台驱动控制系统。该驱动控制系统用于配合本实验室开发的基于差动离焦原理的微纳米检测光学测头装置，实现对测头在Z轴方向上的纳米级的在线实时调焦和对被测物大行程、高精度的二维平面位移运动，从而提高光学检测平台的精度和自动化程度，使其更好地应用于工业自动化检...