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Thin Film PZT Piezo MEMS for Micro-Robotic Angular Rate Sensing and Rotary Actuation.

机译：用于微机器人角速率传感和旋转驱动的薄膜pZT压电mEms。

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作者
Smith, G.; Rudy, R.; DeVoe, D.; Bedair, S.; Nothwang, W.;
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作者单位

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年度 2012
页码 1-28
总页数 28
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Microelectromechanical systems; Actuation; Detection; Fabrication; Lead zirconate titanates; Piezoelectricity; Symposia; Thin films; Angular rate sensing;

机译：微机电系统;驱动;检测;制造;锆钛酸铅;压电;专题讨论会;薄膜;角速率传感;

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