Nanofabrication of Arrays of Silicon Field Emitters with Vertical Silicon Nanowire Current Limiters and Self-Aligned Gates.

著录项

• 作者

  Guerrera, S. A.; Akinwande, A. I.;

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• 作者单位

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• 年度 2016
• 页码 1-11
• 总页数 11
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Field emission; Nanotechnology; Current limiters; Chemical vapor deposition; Electric fields; Electron microscopes; Electrostatic fields; Fabrication; Oxides; Electron microscopy; Electrons; Si nanowires; Mems; Nems; Field emission; Cold cathodes;

  机译：场发射;纳米技术;电流限制器;化学气相沉积;电场;电子显微镜;静电场;制造;氧化物;电子显微镜;电子; si纳米线; mems; Nems;场发射;冷阴极;