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机译:超干燥空气等离子体处理,用于提高A-IGZO TFT应用中Al2O3-GPTMS-PMMA混合介质栅极层的介电性能
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Estudios Avanzados Unidad Queretaro Apdo Postal 1-798 Queretaro 76001 Queretaro Mexico;
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Univ Guadalajara CUCEI Dept Ingn Proyectos CONACYT Ave Jose Guadalupe Zuno 48 Zapopan 45157 Jalisco Mexico;
Univ Texas Dallas Dept Elect &
Comp Engn 800 West Campbell Rd Richardson TX 75080 USA;
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hybrid dielectric; low-temperature; ultra-dry air plasma treatment; a-IGZO TFTs;
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的鲁棒SiO2栅极介电薄膜涉及脱甲丙基氨基硅烷(DIPA)和氧等离子体:在非晶氧化物薄膜晶体管上施用
机译:等离子体增强原子层沉积在栅极电介质应用中生长的Ga_2O_3-TiO_2纳米混合薄膜的电学特性
机译:Laon / Si双钝化层和氟等离子体处理改善HfTiON栅介电Ge MOS电容器的界面和电学性能
机译:低于65 nm低待机功率CMOS应用的远程等离子体增强原子层沉积(RPEALD)氮化物/氧化物栅极电介质
机译:开发用于TFT应用的等离子增强化学气相沉积(PECVD)栅极电介质。
机译:使用低压化学气相沉积的Si3N4介电层改善介电电润湿微流体器件的介电性能
机译:用HFO-= sub = -2 - = / sub = - / la-= sub = -2- =的双栅双极层(DG-DAL)薄膜晶体管(TFT)电性能的研究。 / sub = -o- = sub = -3 - = / sub = - / hfo-= sub = -2 - = / sub = - (HLH)三明治栅极电介质
机译:用无线电波法测定介电基板上介电层的性质