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机译:离子束图和随后的抗反射涂层沉积对193nm的CaF2表面吸收的影响
Leibniz Inst Photon Technol Albert Einstein Str 9 D-07745 Jena Germany;
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JENOPTIK Opt Syst GmbH Goschwitzer Str 25 D-07745 Jena Germany;
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