吸着式エアドライヤ－スーパーヒートレスエアドライヤの構造と特徴

摘要

超乾燥空気は、半導体分野を始めさまざまな分野で必要とされ、超乾燥空気を得るために各種のエアドライヤが使用されている。 そのエアドライヤの中でも特に自己再生非加熱方式の吸着式エアドライヤについて紹介する。 本稿では、当社にて開発した「スーパーヒートレスエアドライヤ」の基本構造について述べる（写真1）。 第1図に示すように、入口から入ってきた湿った空気が入口弁(CV-L/R)を通して、吸着剤筒(CUL-L/R)の一方に導入されて空気中の水分が、2分間吸着される。 乾燥した空気は、チェック弁経由にて出口から吐出される。 また、同時に、乾燥した空気の一部をオリフィスを通じて大気圧下に減圧してもう一方の吸着剤筒に供給し、その筒の吸着剤を1分40秒間再生する。 減圧下で吸着剤を再生する理由は、加圧下で乾燥させた空気を大気圧下に減圧するとより超乾燥空気で非常に低い相対湿度になり、再生がより効率的に行なわれるためである。