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机译:电子束光刻制造中衍射光栅轮廓的优化
OPTICAL-ELEMENTS; DIRECT-WRITE; RESIST;
机译:电子束光刻制造中衍射光栅轮廓的优化
机译:通过原位光学光刻和电子束光刻相结合的确定性制造与单个量子发射器耦合的圆形布拉格光栅
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机译:电子束光刻制造中的衍射光栅型材的优化
机译:衍射光栅理论在波导光栅分析与制造中的应用。
机译:双光子光刻纳米玻璃衍射光栅
机译:电子束光刻制造闪耀光栅的最新进展
机译:X射线光刻的新应用:具有深相分布的闪耀差分光学元件的制造