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Influence of the growth rate on the nanocrystallinity of Ⅱ-Ⅵ films in chemical vapor deposition

机译:生长速率对化学气相沉积中Ⅱ-Ⅵ薄膜纳米结晶度的影响

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摘要

The nanocrystallinity of CdS, CdSe and CdTe films are studied as a function of the growth rate in chemical vapor deposition. The existence of a critical flux for condensing molecules and the presence of a critical substrate temperature is being established. Polycrystalline structure is formed at temperatures higher than this temperature.
机译:研究了CdS,CdSe和CdTe薄膜的纳米结晶度与化学气相沉积中生长速率的关系。正在建立用于冷凝分子的临界通量和临界衬底温度的存在。在高于该温度的温度下形成多晶结构。

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