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机译:Vhf Pecvd生长的微晶硅和太阳能电池的制造
Institute of Plasma Physics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China;
microcrystalline silicon; solar cells; vhf pecvd; afm;
机译:VHF PECVD法生长薄膜太阳能电池用低温微晶硅薄膜
机译:薄膜太阳能电池本征氢化非晶硅的沉积-通过RF-PECVD静态生长和通过VHF-PECVD动态生长的层的比较研究
机译:VHF PECVD微晶硅:从材料到太阳能电池
机译:使用具有高沉积速率的动态VHF-PECVD工艺进行非晶硅钝化层和P型微晶层和P型微晶层的方法
机译:使用VHF PECVD技术开发和优化高效薄膜硅基太阳能电池。
机译:通过转移印刷技术在氢化微晶硅太阳能电池中集成光阱银纳米结构
机译:通过HW-CVD和VHF-PECVD技术生长的微晶硅薄膜的少数载流子特性