...
机译:通过纳米球光刻掩模通过银离子注入进行硅纳米结构化
Univ Tuzla, Fac Nat Sci & Math, Tuzla 75000, Bosnia & Herceg;
Univ Belgrade, Inst Nucl Sci VINCA, Belgrade 11351, Serbia;
Friedrich Schiller Univ Jena, Inst Solid State Phys, Max Wien Pl 1, D-07743 Jena, Germany;
Univ Tuzla, Fac Nat Sci & Math, Tuzla 75000, Bosnia & Herceg;
Univ Belgrade, Fac Technol & Met, Belgrade 11120, Serbia;
Univ Belgrade, Inst Nucl Sci VINCA, Belgrade 11351, Serbia;
Univ Belgrade, Inst Nucl Sci VINCA, Belgrade 11351, Serbia;
Friedrich Schiller Univ Jena, Inst Solid State Phys, Max Wien Pl 1, D-07743 Jena, Germany;
Univ Belgrade, Inst Nucl Sci VINCA, Belgrade 11351, Serbia;
Ag nanoparticles; Nanostructuring; Ion beam implantation; Silicon; Polystyrene nanomask; SPR peak;
机译:通过纳米球面光刻和中间掩模图案转移相结合的高纵横比硅和聚酰亚胺纳米柱
机译:纳米光光刻控制硅纳米结构的制造:应用于宽谱的低反射
机译:自组装纳米球光刻技术制备的纳米结构硅的吸收增强
机译:胶体二氧化硅颗粒掩模的离子束改性,定制纳米光刻产生的Ag纳米结构阵列的尺寸
机译:使用纳米球面光刻和RIE刻蚀制造二维纳米结构阵列及其在光学器件中的应用。
机译:用低成本和大面积纳米光刻制造的锥形硅纳米结构的全向和宽带抗反射效果
机译:通过纳米光刻和中间掩模图案转移结合使用高纵横比硅和聚酰亚胺纳米粒子
机译:用于高分辨率离子光刻接近印刷的氮化硅模板掩模。