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机译:轻质气体原子夹杂物对激光产生的等离子体离子特性的影响
Institute of Applied Physics, National University of Uzbekistan, 100174, Vuzgorodok,Tashkent, Uzbekistan;
Institute of Applied Physics, National University of Uzbekistan, 100174, Vuzgorodok,Tashkent, Uzbekistan;
Institute of Applied Physics, National University of Uzbekistan, 100174, Vuzgorodok,Tashkent, Uzbekistan;
Faculty of Nuclear Sciences and Physical Engineering, Czech Technical University in Prague, Brehova 7, 115 19 Prague I, Czech Republic;
Departement Fysica, Universiteit Antwerpen, Groenenborgerlaan 171, B-2020 Antwerpen, Belgium;
机译:用于极端紫外线光刻光源的CO_2和Nd:YAG激光产生的锡等离子体中碎片的发射特性
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机译:通过在NE-O-2气体混合物中的激光产生的等离子体与NE的碰撞增强O-原子密度和可能的能量转移机构
机译:激光产生的锡等离子体中性原子和离子的排放特性 - (PPT)
机译:Nd:YAG和CO2激光产生的锡等离子体的发射特性,可用于极端紫外光刻源的开发。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:来自锡激光产生的等离子体的极端紫外(EUV)光的高空间分辨率成像板分析
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