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机译:开发用于1.2μm分辨率的G6曝光工具
Canon Inc FPD Prod Equipment PLM Ctr 4 Opt Prod Operat 20-2 Kiyohara Kogyodanchi Utsunomiya Tochigi 3213292 Japan;
1; 2 mu m resolution; DUV; exposure tool; lithography;
机译:G6曝光工具的研制为1.2μm分辨率
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机译:开发环保曝光,物理位置和肺功能的环境卫生工具
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机译:开发环境健康工具,将化学暴露,身体部位和肺功能联系起来
机译:开发用于测量人类UVA暴露的剂量学工具
机译:用于软件开发的环境/工具集成商。版本1.2