机译:MOEMS可变形反射镜,用于生命显微镜中的聚焦控制
Montana State University Electrical and Computer Engineering 530 Cobleigh Hall Bozeman, Montana 59717;
Montana State University Electrical and Computer Engineering 530 Cobleigh Hall Bozeman, Montana 59717;
Bridger Photonics, Inc. 2310 University Way, Building 4-4 Bozeman, Montana 59717;
Montana State University Electrical and Computer Engineering 530 Cobleigh Hall Bozeman, Montana 59717;
MOEMS; MEMS; membrane mirror; variable focus; spherical aberration; SU-8;
机译:勘误表:MOEMS可变形反射镜,用于生命显微镜中的聚焦控制
机译:MOEMS可变形反射镜,用于生命显微镜中的聚焦控制
机译:高速聚焦控制MEMS反射镜,具有用于重要显微镜的受控空气阻尼
机译:MEMS变形镜,用于生命显微镜中的聚焦控制
机译:氮化硅可变形反射镜,用于微光学系统中的聚焦和球差校正。
机译:基于四个变形镜的可变数值孔径聚焦光学系统的近衍射极限X射线聚焦
机译:勘误表:MOEMS可变形镜,用于对焦控制在重要的显微镜中
机译:适用于可变形天文望远镜镜像的控制系统的控制律和执行机构位置的评估