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机译:使用近红外光学干涉仪的硅板厚度测量系统
near-infrared laser; silicon; thickness measurement;
机译:通过波长调谐相移干涉术同时测量玻璃板的表面形状和绝对光学厚度
机译:通过波长调谐相移干涉法同时测量玻璃板的表面形状和绝对光学厚度
机译:使用横向剪切循环路径光学配置设置和偏振相移干涉术测量透明玻璃板的厚度
机译:傅里叶变换近红外光谱仪通过光学反射法测量薄硅晶圆厚度的系统
机译:光学干涉法测量轴对称拉伸中润滑剂薄膜的厚度
机译:三相交法近红外干涉法测量硅镜的绝对平面度
机译:三相交法近红外干涉法测量硅镜的绝对平面度
机译:采用部分相干干涉法测量硅薄膜厚度