静電気放電（ESD）現象の一つである，帯電物体が接地体に向かって移動を伴うときに発生する火花放電現象を解明するために，固定された接地体（カレントターゲット）に向かって帯電金属球電極が等速度（電極移動速度という）で移動する時の火花長，火花電流及び磁界プロープ（φ1cm）への誘導電圧を測定した。帯電金属球電極に接続されたコンデンサ（422pF）の充電電圧は＋6.5kV，＋10kVとし，電極移動速度は1mm/s～100mm/sまで変化させた。その結果，電極移動速度が速くなるとともに火花長の平均値は短くなった。また，電極移動速度が速くなるとともに，火花電流及び誘導電圧のピーク値の平均値は大きくなる傾向となった。さらに，電極移動速度が速くなるとともに，火花電流及び誘導電圧の立ち上がり時間を平均した値は短くなる傾向となった。実験によって得られた火花長と火花電流及び誘導電圧との関係は，Rompe-Weizelの提案した火花抵抗則に基づいて得られた，火花長と火花電流との関係式によって定性的には説明される。%In this study, we experimentally clarified the nature of the characteristics of the spark discharge that occurs when a charged object moves toward a stationary grounded object. The spark lengths, spark currents, and induced voltages in a magnetic probe were measured when a charged metal spherical electrode connected to a 422 pF capacitor approached a stationary grounded object, which was the current target, for different moving speeds of the charged metal spherical electrode in the range of 1-100 mm/s. The charge voltages of the capacitor were +6.5 kV and +10 kV. According to the result, the average gap length shortened with the moving speed of the spherical electrode. The average peak values of the spark current and the induced voltage were likely to increase with the moving speed of the spherical electrode. The average rise times of the spark current and the induced voltage were likely to reduce with the moving speed of the spherical electrode. The relation between the spark length and the spark current can be explained qualitatively by using an equation derived from the spark resistance formula proposed by Rompe and Weizel.
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