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机译:用激光扫描振动计测量薄膜的纵向压电系数
ferroelectric thin films; lead compounds; measurement by laser beam; piezoelectric thin films; piezoelectricity; vibration measurement; PZT; PZT thin films; PbZrO3TiO3; converse piezoelectric effect; laser scanning vibrometer; longitudinal piezoelectric coefficient;
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机译:用贝林考特,干涉仪和振动计方法比较测量PZT膜的压电系数
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