机译:用于高频表面声波器件的金刚石上AlN压电膜的生长
III-V semiconductors; Rayleigh waves; aluminium compounds; piezoelectric semiconductors; piezoelectric thin films; semiconductor growth; semiconductor thin films; surface acoustic wave devices; surface acoustic waves; AlN-C; Rayleigh modes; SAW devices; SAW propagat;
机译:金刚石基声表面波器件的压电AlN薄膜的生长与表征
机译:基于AlN /金刚石层状结构的高频声表面波器件的电子束光刻技术
机译:AlN /金刚石/ Si结构中基于伪表面声波的千兆赫兹范围的电声器件
机译:用于高频SAW器件的金刚石上AlN压电膜的生长
机译:取向ZnO压电薄膜的制备与评价及其在声表面波器件中的应用
机译:在高真空下高温退火引起的表面声波器件中压电硅铜矿衬底的表面效应和挑战
机译:rf反应磁控溅射在低温下沉积在Si上的压电Aln薄膜的表征