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机译:基于倾斜c轴取向的ZnO和AlN薄膜的双模薄膜体声谐振器(FBAR)的分析研究
Department of Mechanical Engineering, University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA;
机译:使用带有C轴倾斜AlN薄膜的薄膜体声谐振器的液体传感器
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机译:基于极性c轴倾斜纤锌矿氮化镓的双模薄膜体声谐振器分析
机译:基于c轴倾斜ZnO薄膜的薄膜体声波谐振器的质量敏感性
机译:AlN薄膜体声波谐振器的制作与表征。
机译:基于倾斜c轴AlN膜的剪切模式体声谐振器监测人体止血参数
机译:基于c轴倾斜alN薄膜的mEms压电振动能量收集器性能改进仿真研究
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)