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机译:在硅基板上制造高频pMUT阵列
Department of Micro and Nanotechnology, Technical University of Denmark, Kgs. Lyngby, Denmark;
机译:在三维微金字塔基硅基板上制备垂直硅纳米线阵列
机译:基于硅 - 镶嵌技术(SOI)技术的可弯曲压电微机械超声换能器(PMUT)阵列
机译:金银双金属纳米粒子/硅纳米电孔柱阵列基板的制造和表面增强拉曼散射检测
机译:一种在硅基板上制造高频(> 100MHz)ZnO超声阵列换能器的新方法
机译:非晶碳基板的制造,功能化和应用,用于阵列制造和分析。
机译:腔SOI上基于AlN的高频PMUT阵列的3D有限元分析
机译:水下通信压电微机械超声换能器(PMUT)阵列的设计与制造
机译:用于高频器件制造的半绝缘GaN衬底。