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机译:机械耦合的CMOS-MEMS自由射束谐振器阵列,具有增强的功率处理能力
机译:用于VHF范围的交叉耦合光束CMOS-MEMS谐振器,具有增强的静电检测能力
机译:耦合几乎相同的微机械谐振器的5束阵列中的模式定位分析和表征,用于超灵敏的质量检测和分析物鉴定
机译:高刚度驱动微机械谐振器,具有增强的功率处理能力
机译:具有两端口配置的机械耦合CMOS-MEMS自由-自由射束谐振器阵列
机译:压电转导的ZnO-型谐振器,具有增强的信噪比和用于感测和无线通信应用的动力处理能力
机译:纳米机械谐振器与耦合超导腔的增强机电耦合
机译:高模自由-自由束微机械谐振器
机译:耦合纳米机械谐振器的二维阵列。