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机译:使用阳极键合制造真空密封电容式微加工超声换能器的三掩模工艺
Department of Electrical and Electronics Engineering, Istanbul Medipol University, Turkey;
Bonding; Cavity resonators; Electrodes; Metals; Silicon; Silicon nitride;
机译:使用阳极键合的玻璃通孔互连的真空密封电容式微超声传感器的制造
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:使用基于氮化硅的新型晶圆键合工艺制造电容式微加工超声换能器
机译:使用SOI晶片制造的电容式微机械超声换能器中的容量应力
机译:采用晶片键合技术构建的电容式微加工超声换能器(CMUT)。
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:使用SOI晶片阳极键合制造的电容式微机械超声换能器中的残余应力
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器