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袁赟;
上海华虹NEC电子有限公司;
炉管; 扩散; 化学气相沉积; 氮化硅; 薄膜; LPCVD;
机译:一种电洗涤工艺去除高浓度NO的改进方法
机译:一种在环境压力下制备基于甲基三甲氧基硅烷的整体式气凝胶的改进方法,第I部分:气凝胶的工艺开发和宏观结构
机译:一种自动生成复杂镗孔的工艺计划的改进方法
机译:一种300mm CMOS兼容的PECVD硅氮化硅平台,具有低损耗低,工艺诱导相变的集成光子。
机译:大气压等离子体CVD工艺的设计,该工艺使用介电势垒放电沉积氮化硅薄膜。
机译:基于CVD气溶胶工艺的核-壳纳米颗粒的薄膜生长速率和活化能
机译:一种应用于超声波焊接的工艺改进方法
机译:开发一种经过统计验证的反应键合氮化硅注射成型方法,烧结反应键合氮化硅和烧结氮化硅。最终报告,1985年7月1日至1986年6月30日
机译:一种通过闭模锻造工艺制造圆锻的改进方法,由同一过程制造的闭环模具以及用于制造这种锻造的闭模的改进方法
机译:用于鞣制的提取物鞣制工艺的增溶和/或改进方法,以及通过后一种工艺制得的皮革
机译:薄膜氮化硅生产工艺和使用薄膜氮化硅的薄膜晶体管生产工艺
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