TiO2薄膜制备的研究

摘要

以漂珠为载体,采用液相沉积法制备了TiO2膜,对成膜过程中的一些影响因素进行了研究,结果表明:氟钛酸浓度超过0.2 mol/L时,镀出的膜厚度较大;硼酸的含量只对成膜速度有影响,而不会影响膜的厚度;沉积时间越长所镀的膜也就越厚;当温度在20℃-30℃范围内时,成膜效果最好.