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单晶硅生产车间循环给水系统的设计

         

摘要

根据单晶硅生产车间生产设备的布局特点及其对水压平衡的特殊要求,从确保用水设备安全、减少资源浪费、提高设备运行效率这一基本点出发,提出了有关循环给水系统的设计措施和处理办法.

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