全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析

摘要

以MEMS传感器为主要研究对象,基于德温特专利数据库中收录的优先权年为2000-2014年的MEMS传感器相关专利数据,以发展速度不同划分为三个阶段,分别讨论各阶段传感器类型、IPC分布以及专利权人分布的变化情况.结果表明MEMS传感器为市场导向型技术,不同阶段的研究重点与该阶段的市场需求有着紧密的联系,我国MEMS传感器在技术创新的同时应加快产业化的步伐.