离子束溅射沉积Sm-Fe系薄膜的沉积速率计算

摘要

文中首先介绍如何用离子束溅射沉积法(IBSD)在铍青铜基片上制备Sm-Fe/Fe多层膜,详细描述镀膜方案和镀膜过程。其次,利用推导出的公式计算得出薄膜的理论沉积速率,并与称重法测得的薄膜实际沉积速率进行对比。最后,分析理论计算值与实际测量值产生偏差的原因,并提出修正建议,以期进一步提高薄膜沉积速率的计算精度,对精确控制Sm-Fe/Fe多层膜的制备有一定指导意义。