一种高效模块化等离子体电源研究

摘要

传统等离子体电源结构复杂,采用晶闸管直流调速器或高频整流逆变的拓扑结构和相应控制电路实现,导致产品故障率高、可靠性较差、维护不便、成本高转换效率较低。在此采用一种单极Buck电路拓扑结构的等离子体电源方案,工频交流输入后,经过整流模块变换为直流,再通过斩波恒流,多路独立并联。各并联回路进行模块化、标准化。级数少、单绝缘栅双极型晶体管(IGBT)结构功耗小、效率高。最终产品实验及应用表明,该方案拓扑简单、可靠性高、性能稳定、维护方便、成本低、效率高、全模块化设计,易于根据功率需求进行灵活配置。