冷阴极气体放电电子枪逆变电源的研制

摘要

为了获得稳定的大功率冷阴极气体放电电子束流输出,提高冷阴极气体放电电子枪工作稳定性和可靠性,基于三级AC/DC逆变拓扑电路、逆变功率变压器输入并联与输出整流串联的电路、双闭环控制电路、放电脉冲尖峰保护电路等,研制了一台30 kW/20 kV冷阴极气体放电电子枪逆变电源.检测分析了气流量给定时电压变化对束流的影响规律、电源最大功率输出、功率变压器初级电压与电流波形及放电脉冲尖峰保护过程,试验结果表明:所研制的冷阴极气体放电电子枪逆变电源输出稳定,且能够满足最大功率输出的需求.