电力电子器件表面保护材料带电规律的研究

摘要

硅器件表面在获得优化的终端设计后,还要采用合适的钝化层和保护材料进行表面保护.应用电荷分离和激光探针测定法研究了硅器件表面保护材料的带电规律,并研讨了对器件表面耐压及高温稳定性的影响,给出了对实际应用具有意义的结果.