考虑负载补偿的脉冲溅射电源的设计与实现

摘要

脉冲磁控溅射电源是实现绿色磁控溅射镀膜的关键设备之一,而等离子体负载的非线性特性会直接影响电源的输出性能.此处以TMS320LF2407型DSP芯片为主控制器,研制一款数字化的脉冲磁控溅射电源,介绍了电源的总体设计方案,主电路拓扑结构及控制电路设计思路,设计了电感、电阻及电容的负载补偿电路,该电路有效解决了由于等离子体负载的非线性特性而引起的脉冲电压振荡与上升时间之间的矛盾.系统测试和运行结果证明了电源设计方案的正确性,且电源表现出良好的负载适应能力.