对棒多晶硅还原炉高频加热系统研究

摘要

介绍了一种新型多晶硅还原炉加热电源的工作原理、系统构成和实验结果.该型加热电源采用相控整流和高频逆变技术.根据多晶硅硅棒在生长过程中的伏安特性,设计了与工频加热电源交互的控制逻辑以及逆变电流控制方法.通过实验验证了硅棒中交变电流的趋肤效应在多晶硅硅棒加热过程中的作用,并对比了工频加热电流与高频加热电流的幅值差异.实验表明,该型多晶硅还原炉高频加热电源在节电率、单炉生产时间和产出硅棒直径上,均比传统的工频加热电源有较大提升.