傅立叶变换红外光谱法测定铝阳极氧化膜厚度

摘要

利用反射-傅立叶变换红外光谱法对铝阳极氧化膜厚度进行了无损测定.结果表明:常温环境下,以金镜为本底,用傅立叶变换红外光谱仪扫描铝阳极氧化膜的反射光谱,由于入射到膜的内外层表面的反射光达到一定相位差时会引起干涉,通过反射光谱的干涉条纹,利用公式计算出氧化膜的厚度.该方法操作简便,测定速度快,应用于实际样品的无损测定,结果满意.