XPS和TOF-SIMS在硬盘驱动器(HDD)磁头表面微污染分析中的应用

摘要

XPS和 TOF- SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分 ,找出污染物的来源 ;XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息 ,而 TOF- SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。