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巫邵波; 李合琴; 王淑占; 顾金宝; 赵之明;
合肥工业大学材料科学与工程学院;
射频磁控反应溅射; 缓冲层; 表面形貌; 电阻率; 荧光光谱;
机译:射频磁控反应溅射AlN薄膜的光学模型
机译:射频磁控反应溅射在蓝宝石上制备SiO2 / Si3N4薄膜的研究
机译:射频磁控反应溅射法制备氧化钇稳定的氧化锆薄膜
机译:磁控反应溅射制备透明导电氧化物半导体ZnO:Al薄膜
机译:氧化铝的双磁控反应溅射。
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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