离子注入机中热阴极溅射离子源的设计

摘要

离子注入机是将离子源产生的离子引出,通过电场和磁场的加速、筛选以及束流分布形状的调节,使离子束以一定的角度、能量均匀地注入硅片的装置。文章重点阐述离子注入机中的关键部件——热阴极溅射离子源的开发设计方法。热阴极溅射离子源可以产生固态金属离子,与已有的热阴极离子源在控制和安装上有良好的兼容性,很好地解决了在同一离子源上同时获得大电流金属离子束流与气态离子束流的矛盾。