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微透镜阵列与针孔阵列合成的微光学器件的研制

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摘要

给出了用于并行共焦显微镜中的微光学阵列器件的制作工艺.特别设计了微透镜阵列与针孔阵列对准粘接的机械和观察系统.实验证明该系统是简易可行的,并给出了实验结果.

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来源
《光电工程》 |2001年第6期|17-19，47|共4页
作者
王昭; 孔兵; 谭玉山;
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作者单位

西安交通大学机械学院激光与红外技术应用研究所,陕西,西安,710049;

西安交通大学机械学院激光与红外技术应用研究所,陕西,西安,710049;

西安交通大学机械学院激光与红外技术应用研究所,陕西,西安,710049;

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正文语种 chi
中图分类集成光学器件;
关键词
微型光学元件; 微透镜阵列; 共焦测量;

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