静电诱导的高黏胶液微量分配技术与设备

摘要

针对微装配连接中高黏胶液微量分配的难题,研究了静电诱导加载与微力反馈转移技术与设备.通过静电力加载胶滴的仿真模型,计算分析了转印头距离胶面的初始高度、电流等参数对胶液加载转移过程的影响,结合力反馈转移胶滴的工艺,确定了微量高黏胶分配的技术指标和关键元件.设计了高黏胶液微量分配工艺流程,研制了微量胶液分配样机的硬件结构和控制软件.最后,以环氧树脂胶为样品进行胶液的微量分配实验,结果表明:通过调整液膜-转印头之间的高度和触发液桥拉断的阈值电流,可以控制加载胶滴和转移胶滴量,转移胶滴的半径可控制在96～193μm,体积控制在0.43～2.81 nL,分配的胶滴半径的一致性误差为4％.该技术为解决皮升至纳升级高黏胶液的微量分配提供了新途径.