高精度微结构玻璃光学元件阵列模压技术研究进展

摘要

高精度微结构玻璃光学元件在光学系统、精密测量、微流控芯片等领域的应用日趋广泛,而阵列模压成形技术是生产玻璃光学元件最具革命性的制造技术,具有高精度、无污染、净成形、低成本等特点,可望实现高精度微结构玻璃元件的低成本和稳定性量产.本文介绍了微结构玻璃光学元件阵列模压技术的优势及应用需求,综述了国内外近年来利用阵列模压技术制造微结构玻璃光学元件的重要研究进展,包括模具材料及加工技术、玻璃材料及热力学特性、阵列模压过程有限元仿真及模压工艺试验、微结构玻璃元件质量检测技术等.重点阐述了微结构光学元件制备过程中在模具材料、镀膜材料、模具加工设备及工艺、阵列模压仿真与成形工艺等方面所取得的新成果和面临的技术难题.最后,对微结构玻璃光学元件阵列模压成形制造技术的发展趋势进行了展望.