为了降低双通道MEMS微波功率传感器的回波损耗,提高传感器的测量精度,对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究.首先,通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的理论解析模型,分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性,得到了M EM S悬臂梁的间距和回波损耗系数S11的关系;接着利用有限元软件H FSS进行仿真,并和理论结果比较;然后,设计并制作了双通道微波功率传感器;最后,对该传感器的匹配特性进行了测试和分析.实验结果表明:当MEMS悬臂梁的间距为1.6μm时,该传感器在测量8～12 GHz频率内的微波信号时,回波损耗小于-19 dB.理论和仿真结果较为相符,因此S参数的理论解析模型可以较好地反映双通道M EM S微波功率传感器的匹配特性,对双通道M EM S微波功率传感器的设计具有一定的指导意义.
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