行波式压电微电机的等效电路特性

摘要

本文通过对行波式压电微电机原理性的分析，并结合质点运动学基础理论，研究 电微电机换能理论，建立了电机等效电路。该方法将为深入研究压电微电机的力矩、功率、以及效率提供有力的理论基础。