红外干涉仪调试和测量技术的研究

摘要

从干涉计量术方面对自行研制的移相式ＣＯ２红外激光干涉仪进行了研究并提供了定位红外光路的调试技术，应用该干涉仪对红外光学元件及系统进行了测量；最后，对本干涉仪的系统误差作了测试和分析，结果表明，本仪器系统误差优于λ／２０。