准分子激光深层光刻蚀在LIGA工艺中的应用

摘要

介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺深层的光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。