振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿

摘要

主要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因,分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及fθ特性误差等的关系,并结合视场大小为75×75的实际物镜fθ特性误差的最小二乘拟合,给出了校正图形畸变的准确关系式.另外,在矢量扫描方式中光斑移动速度的非线性会导致扫描图形各部分曝光不均匀,文中也给出了对扫描图形曝光量加以补偿的方法和公式.