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微加速度传感器的研究现状及发展趋势

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摘要

基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.

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来源
《光学精密工程》 |2004年第z1期|81-86|共6页
作者
刘妤; 温志渝; 张流强; 刘玉奎; 梁玉前;
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作者单位

重庆大学,光电工程学院,重庆,400044;

重庆工学院,车辆工程学院,重庆,400000;

重庆大学,光电工程学院,重庆,400044;

重庆大学,光电工程学院,重庆,400044;

重庆大学,光电工程学院,重庆,400044;

中国电子科技集团公司第24研究所,重庆,400060;

重庆大学,光电工程学院,重庆,400044;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
微加速度传感器; MEMS;

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